26. november 2020, kl. 17:02
Et forskerteam med deltagere fra Zeiss, Trumpf og Fraunhofer-instituttet er blevet tildelt Deutscher Zukunftspreis 2020 på 250.000 euro for udvikling af EUV-litografi-teknologien.
Med tildelingen af Deutscher Zukunftspreis 2020år prismodtagerne, der udgøres af temaet dr. Michael Kösters, dr. Peter Kürz og dr. Sergiy Yulin fra henholdsvis Trumpf, Zeiss og Fraunhofer IOF i Jena, også et præmiebeløb på 250.000 euro, lig med omkring 1,8 millioner kroner.
Bagrunden for prisen er et betydeligt bidrag til udvikling af EUV-teknologi til energi- og omkostningseffektiv fremstilling af mikrochips, herunder ikke mindst forberedelse til industriel serieproduktion, fremhæves det.
Med EUV-fremgangsmpden er der tale om en fremtidssikker teknologi bakket op af mere end 2.000 patenter, der danner grundlaget for digitaliseringen af vores daglige liv og muliggør applikationer som automatiseret kørsel, 5G, kunstig intelligens og andre innovationer, fremhæver juryen i sin begrundelse.
Envidere påpeges det, hvorledes EUV har været med til at skabe over 3.300 højteknologiske job hos Zeiss og Trumpf, lig en årlig omsætning på mere end en milliard euro og med en opadgående trend.
En højeffektlaser fra Trumpf kombineret med et optiske system fra Zeiss er nøglekomponenter i laserlyskilden til EUV-maskineri. EUV står for Exstreme Ultraviolet Light, hvilket vil sige lys med en ekstrem kort bølgelængde.